公开/公告号CN100452317C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 联华电子股份有限公司;
申请/专利号CN200510099171.5
发明设计人 蔡彰祜;
申请日2005-09-09
分类号H01L21/311(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人陶凤波;侯宇
地址 中国台湾新竹科学工业园区
入库时间 2022-08-23 09:01:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-01-14
授权
授权
2007-05-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-03-14
公开
公开
机译: 具有双容器阀的检验和缩小尺寸的方法,具有双容器阀的检验和缩小尺寸的系统,具有双容器阀的检验和缩小尺寸的系统
机译: 通过进行硅化物侧壁生长和蚀刻来实现半导体器件中非常小的特征尺寸的方法
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