一种自校正MEMS电容式湿度传感器及其制备方法

摘要

本发明提出一种自校正MEMS电容式湿度传感器及其制备方法，包括依次堆叠的帕尔贴制冷器及湿度敏感电容，将MEMS敏感电容与帕尔贴制冷器集成，从而通过帕尔贴制冷器控制敏感电容的温度，可以近似获得相对湿度为0和100%时的电容输出值。进而对湿度传感器的输出进行校正。整个校正过程简单，并且可以由外部电路控制自动完成，提高传感器的测量精度，降低校正成本。