带有同轴的涡轮分子泵和增压泵的质谱检漏仪

摘要

本发明涉及一种质谱检漏仪，包括：多级涡轮分子泵(12)，连接到所述涡轮分子泵(12)的吸入侧的质谱仪(17)，连接到所述涡轮分子泵(12)的压力侧的初级真空泵(18)，以及增压泵级(24)，其中，所述增压泵级(24)的吸入侧具有用于待测试对象的连接器(28)，所述增压泵级(24)的压力侧通过气体管线路径(22)连接到所述涡轮分子泵(12)的所述压力侧和所述初级真空泵(18)的吸入侧。其特征在于：所述涡轮分子泵(12)的泵级(30，32)和所述增压泵级设置在同一个轴上并具有共同的驱动器(34)；以及隔离件(36)中断在适于连接到所述测试对象的所述增压泵级的所述压力侧与连接到所述质谱仪(17)的所述涡轮分子泵(12)的泵级的吸入侧之间的气体传导路径。