(Ⅱ)新一代分子增压泵—深冷水气泵组合抽气机组——无扩散泵、无罗茨泵、清洁、节能的大型蒸发镀膜设备

摘要

大型蒸发镀膜设备需要配置抽速几万L/s以上的高真空泵。目前，国内外大型蒸发镀膜设备都采用油扩散泵抽气，成为目前高能耗、高油蒸汽污染扩散泵的主要应用阵地。本研究采用4台抽速1，000L/s的分子增压泵+l台0.4m2深冷水汽泵组成高真空抽气机组，成功取代了为Φ1600×1900大型蒸发镀膜设备配套的2台K-800扩散泵和1台ZJ-1200罗茨泵抽气机组，取得了下列优异成果：抽气能耗：2.5度/炉，比原设备节省80%，年节电30～40万度/台，相当于每台设备减排CO2200～300吨/年。