工业微沉积系统和相应的微沉积方法

摘要

一种微沉积流体材料的微滴以在衬底上确定特征图形的微沉积系统。确定衬底的特征图形。为特征图形产生掩模，该掩模减小由于微沉积头的喷嘴故障而出现缺陷的密度。根据该掩模在衬底上微沉积流体材料的微滴，以确定特征图形的子特征。为特征图形中的每个子特征指定微沉积头的一个喷嘴。可随机或利用其它方式指定喷嘴。将掩模上的指定喷嘴分配给微沉积头的多次移过中的一个。