公开/公告号CN110597021B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-23
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201910891416.X
申请日2019-09-20
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人曹廷廷
地址 201315 上海市浦东新区良腾路6号
入库时间 2022-08-23 11:40:34
机译: 在晶圆上执行浸没光刻工艺后,确定晶圆上的缺陷或合并缺陷的信息
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机译: 电子扫描式阵列探针E浸没式超声缺陷检测圆棒钢的表面缺陷评价方法及棒材的表面缺陷评价方法