一种基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器

摘要

本发明属于气敏传感器相关技术领域，其公开了一种基于气敏膜‑电极界面电阻信号的气体传感器，传感器包括基底、测温电极、加热电极及多个气敏组件，所述测温电极、所述加热电极及多个所述气敏组件间隔设置在所述基底上；所述气敏组件包括至少三个测量电极及气敏膜，至少三个所述测量电极对称设置；至少三个所述测量电极间隔设置在所述基底上，所述气敏膜设置在所述基底上，且覆盖至少三个所述测量电极。本发明可以提供更多且更均匀的活性位点分布，可进一步增强传感器对气体的选择性；气敏膜‑测量电极接触界面易于调控，能够从器件层面增强对气体的选择性；且气敏膜‑测量电极接触电阻信号不易受到气敏膜颗粒生长的影响，长期稳定性好。