一种新型的气体放电式定向纳米碳管气敏传感器的研究

摘要

本文研究了一种新型的定向纳米碳管阵列的气敏传感器,由于采用了阳极氧化铝模板法制备定向纳米碳管,因此电极与纳米碳管是一体的,简化了器件结构和工艺.传感器工作时,纳米碳管的尖端会形成很强的非均匀电场,因此在电压相对较低的情况下能很容易地电离气体且获得较大的放电电流.实验结果表明该传感器能对多种单一气体和确定性混合气体进行检测,且具有响应时间快,灵敏度高,可靠性高和重复性好等优点.