一种在氟金云母衬底上化学气相沉积生长钼钨硒合金的方法

摘要

本发明公开了一种在氟金云母衬底上化学气相沉积生长钼钨硒合金的方法，其特点是采用氟金云母衬底，以三氧化钼粉末与三氧化钨粉末混合物及硒粉为前驱体，利用化学气相沉积生长得到钼钨硒合金，其沉积生长包括：衬底清洗、前驱体的设置和气相沉积生长钼钨硒合金步骤。本发明与现有技术相比具有制备方法简单，结晶率高，可控性强等特点，得到的钼钨硒合金可应用于带隙调节工程、析氢反应，有望于提高器件开关比，提高太阳能电池的性能。