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公开/公告号CN108376656B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-31
原文格式PDF
申请/专利权人 北京科技大学;
申请/专利号CN201810130269.X
发明设计人 何飞;朱书祺;李晓宁;徐科;徐金梧;
申请日2018-02-08
分类号H01L21/66(20060101);
代理机构11401 北京金智普华知识产权代理有限公司;
代理人皋吉甫
地址 100083 北京市海淀区学院路30号
入库时间 2022-08-23 11:07:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-31
授权
2018-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20180208
实质审查的生效
2018-08-07
公开
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