一种基于环境效应的表面改性工艺可靠性评价方法

摘要

本发明提供一种基于环境效应的表面改性工艺可靠性评价方法,步骤如下：一：关键表面完整性特征及敏感环境应力分析；二：关键表面完整性特征退化实验；三：退化预测模型的建立；四：动态环境下的关键表面完整性特征的退化预测；五：评价指标的计算；通过以上步骤，能够准确预测关键表面完整性特征在动态环境中的退化过程，通过计算动态环境中某时刻关键表面完整性特征大于退化阈值的概率，能够对该工艺抵抗环境应力的能力做出评估，实现该工艺的可靠性评估，并能够为该工艺流程的优化提供帮助。