基于UV-LIGA技术的金属微通换热器及制备方法

摘要

本发明公开了一种基于UV‑LIGA技术的金属微通换热器结构及制备方法，通过对金属基底进行旋涂光刻胶制备出所需厚度的胶膜；按微通道的布局及形状设置相应形状图案的掩膜板，采用紫外光源覆盖掩膜板的胶膜进行曝光处理，将曝光后的胶膜置于相应显影液中，直至曝光区域图案完全显现出来，露出金属基底；对显影后的胶膜图形区域进行电铸铜成形；在金属基底上获得所需金属微槽道和加强筋；将机加工形成的金属微盖板和金属基底预装后固定；最终制得包括金属基底，金属盖板、在金属基底上生成的多组的微米尺度的微通道；通过本发明制得的金属微通换热器，增大了冷却介质表面积和体积比，散热效率高。