用于将激光焦点控制在流体束内部的清洁设备和方法以及包括清洁设备的系统

摘要

一种用于将激光焦点控制在流体束(2)内部的清洁设备和方法。清洁设备(1)包括流体组件(9)，流体组件(9)被布置为产生流体束(2)。流体组件(9)包括外壳(10)，外壳(10)具有流体入口端口(11)、出口孔(12)以及流体入口端口(11)与出口孔(12)之间的流体流动路径(13)。外壳(10)包括激光输入端口(24)。清洁设备(1)进一步包括光学组件(20)，光学组件(20)包括：激光束光学装置(23)，被配置为引导第一激光束(5)通过激光输入端口(24)并且进一步通过出口孔(12)，以及将第一激光束(5)聚焦在流体束(2)内部；以及感测装置(26)，被配置为发射通过出口孔(12)的感测信号(28)以接收反射信号(29)，以及基于反射信号(29)来确定流体束(2)的长度数据。光学组件(20)进一步被布置为基于所确定的长度数据来调节激光束光学装置(23)，以便控制第一激光束(5)的焦点。