酸槽制程干燥能力的验证方法及验证装置

摘要

本发明公开了一种酸槽制程干燥能力的验证方法，其特征在于：提供经过湿法刻蚀的晶圆；向晶圆通入用于干法刻蚀的气体；使气体与晶圆中的残留水发生反应，以在晶圆表面聚积为稠密缺陷；统计稠密缺陷的量；基于稠密缺陷的量，判断残留水的量；以及以及基于残留水的量，判断酸槽制程干燥能力。通过该方法可以容易的测定出晶圆干燥之后的残留水的量。