公开/公告号CN108475607B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立高新技术;
申请/专利号CN201680077768.6
申请日2016-02-03
分类号
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人金成哲
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:44:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-19
授权
授权
2018-09-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/20 申请日:20160203
实质审查的生效
2018-09-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/20 申请日:20160203
实质审查的生效
2018-08-31
公开
公开
2018-08-31
公开
公开
2018-08-31
公开
公开
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