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一种镍基上制备亲水性石墨烯薄膜的方法

摘要

本发明在镍基上制备亲水性石墨烯薄膜的方法包括多晶镍箔表面清洗、表面活化处理、化学气相沉积步骤。其中化学气相沉积是将处理后的多晶镍箔放入真空炉中抽真空后加热并通入氩气;在炉内温度到达800℃时通入氢气,氢气流量控制为100~300sccm;在炉内温度到达950℃时通入碳源气体,碳源气体流量为2~6sccm;待石墨烯薄膜在多晶镍箔上生长5~10min后关闭氢气与碳源气体;控制炉内冷却速率为5~15℃/min,待温度降至700℃时二次升温;温度升至980℃开始通入碳源气体,碳源气体流量为1~4sccm;待石墨烯薄膜在多晶镍箔上生长10~20min后关闭氢气与碳源气体,控制冷却速率为5~15℃/min,最终得到亲水性石墨烯薄膜。本发明石墨烯薄膜的亲水性能和纯度高,拓展了其应用领域。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-23

    授权

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  • 2018-07-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/26 申请日:20180117

    实质审查的生效

  • 2018-07-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/26 申请日:20180117

    实质审查的生效

  • 2018-06-29

    公开

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  • 2018-06-29

    公开

    公开

  • 2018-06-29

    公开

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