公开/公告号CN107561866B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-23
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201610510702.3
申请日2016-06-30
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅;李时云
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2022-08-23 10:38:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-23
授权
授权
2018-02-02
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20160630
实质审查的生效
2018-02-02
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20160630
实质审查的生效
2018-01-09
公开
公开
2018-01-09
公开
公开
2018-01-09
公开
公开
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