退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
王磊杰; 张鸣; 朱煜; 叶伟楠; 杨富中;
清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室&精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室 北京100084;
浸没式光刻机; 光学干涉式光栅编码器; 位移测量;
机译:适用于超精密应用的干涉式传感器和干涉式校准系统
机译:快速通道中的绝对式磁性编码器:比光学编码器更坚固,更便宜Φ30mm的绝对式多圈编码器
机译:浸没式光刻机中用于自由形式瞳孔照明模块的高性能光学系统
机译:基于超短布拉格光栅的固有Fabry-Perot干涉式光纤传感器,用于准分布式应变和温度测量。
机译:光栅干涉仪系统的超精密实时位移计算算法
机译:微型整体位移传感器采用浸没式衍射干涉法
机译:用于监测燃气轮机aERO发动机转子叶片运动的非接触式位移测量技术综述
机译:在浸没式光刻机中进行基板更换期间,将浸没流体与光学组件,设备和经过调理的零光学元件邻接
机译:包括衍射光栅的光学型编码器,用于产生经过干涉处理以测量位移的干涉条纹
机译:用于在浸没式光刻机中的晶片交换期间将浸没流体保持在光学组件附近的装置和方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。