一种分析界面碳化对Cr/DLC多层膜影响的方法

摘要

本发明公开了一种分析界面碳化对Cr/DLC多层膜影响的方法。所述方法采用中频磁控溅射技术制备若干种调制周期不同、层数不同、总体厚度相同的Cr/DLC多层膜，采用扫描电子显微镜、俄歇电子能谱、X射线衍射仪、拉曼光谱仪、三维白光干涉表面轮廓仪、划痕仪、纳米压痕仪、显微硬度计，分析各种Cr/DLC多层膜样品的微观结构及力学性能变化，探究多层膜层间界面碳化对Cr/DLC多层膜结构和力学性能的影响机理。通过所述方法，可以清晰地考察界面处Cr的碳化对Cr/DLC多层膜碳价键微结构和内应力的影响，系统阐述碳价键及相组成以及内应力的变化对薄膜力学性能的影响，填补了理论和实践空白。