模拟缺陷样品及其制造方法、超声波探伤测定条件的调整方法、靶原材料的检查方法、以及溅射靶的制造方法

摘要

本发明的模拟缺陷样品用于调整检查靶原材料的内部缺陷的超声波探伤测定条件，前述模拟缺陷样品具有包含第1面及与该第1面相对的第2面的基板，在前述基板上形成有从前述第1面侧起具有第1深度的沉头孔，并且，在前述沉头孔的底面的一部分形成有从前述沉头孔的底面起具有第2深度的平底孔，前述平底孔的当量圆直径φ小于0.3mm时，前述平底孔的当量圆直径φ相对于前述平底孔的第2深度d的比例φ/d为0.08以上且小于0.40，前述平底孔的当量圆直径φ为0.3mm以上且小于0.4mm时，前述比例φ/d为0.1以上且小于0.60，前述平底孔的当量圆直径φ为0.4mm以上时，前述比例φ/d为0.11以上且小于1.60。