公开/公告号CN106252248B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-21
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201610051623.0
发明设计人 周廷璁;
申请日2016-01-26
分类号
代理机构北京德恒律治知识产权代理有限公司;
代理人章社杲
地址 中国台湾新竹
入库时间 2022-08-23 10:32:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-21
授权
授权
2017-01-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20160126
实质审查的生效
2017-01-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20160126
实质审查的生效
2016-12-21
公开
公开
2016-12-21
公开
公开
机译: 一种自动将带电粒子束聚焦在样品的表面区域上的方法,该方法计算带电粒子束装置的图像的图像的一组会聚锐度值,以及用于成像样品的带电粒子束装置
机译: 在样品的表面区域上自动聚焦带电粒子束的方法,计算带电粒子束装置的图像的图像的锐度值和用于成像样品的带电粒子束装置的锐度值的方法
机译: 在样品的表面区域上自动聚焦带电粒子束的方法,计算带电粒子束装置的图像的图像的锐度值的会聚集和用于成像的带电粒子束装置