基于自治与协调的半导体晶圆制造系统实时派工方法

摘要

提出一种基于自治与协调的实时派工机制,并在此基础上研究面向瓶颈设备的实时派工算法,该算法针对瓶颈设备动态漂移的特性,根据不同的状态阈值采用不同的派工规则以进行控制。通过基于拓展型面向对象Petri网仿真平台的实验证明,该算法在绩效水平上优于其他两种算法。并且采用响应曲面法和期望函数对仿真结果进行优化,以获得更好的系统绩效。