MoNbC/MoNbCN叠层复合涂层刀具及其制备工艺

摘要

本发明属于机械制造切削刀具领域，特别是涉及一种MoNbC/MoNbCN叠层复合涂层刀具及其制备工艺。本发明采用中频磁控溅射+电弧离子镀的复合镀膜方法，直接采用MoNbC复合靶作碳源，且沉积温度控制在300℃以下，可在更为广泛的刀具或工具基体上制备。本发明所制备的MoNbC/MoNbCN叠层复合涂层刀具，刀具基体表面沉积有涂层，所述涂层从内到外依次为：Ti过渡层、MoNbC涂层与MoNbCN涂层交替的复合叠层结构，最外层为MoNbCN涂层，所制备的MoNbC/MoNbCN叠层复合涂层刀具综合了MoNbC碳化物涂层、MoNbCN碳氮化合物涂层及叠层结构的优点，较现有碳氮化合物涂层刀具有更优良的物理机械性能，可广泛应用于淬硬钢、铝合金等难加工材料的高速、高精密连续或断续切削加工。