首页> 中国专利> 液体等离子体发生装置、液体中等离子体发生方法以及由液体中等离子体分解有害物质的方法

液体等离子体发生装置、液体中等离子体发生方法以及由液体中等离子体分解有害物质的方法

摘要

用具有在液体中发生气泡的气泡发生装置和在液体中辐射电磁波的电磁波发生装置的液体中等离子体发生装置,使在液体中发生气泡的同时以电磁波辐照而产生等离子体,这样能实现虽为高能而宏观上为低温的,安全的,容易处理的等离子体,可用于在基板上成膜和用于分解二英等有害物质。

著录项

  • 公开/公告号CN100336586C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2007-09-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 国立大学法人爱媛大学;

    申请/专利号CN03807461.3

  • 发明设计人 野村信福;丰田洋通;

    申请日2003-03-31

  • 分类号B01J19/08(20060101);B01J19/10(20060101);B01J19/00(20060101);H05H1/24(20060101);A62D3/00(20070101);B01D19/00(20060101);

  • 代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人杜日新

  • 地址 日本爱媛县

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:35

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-05-04

    专利权的转移 IPC(主分类):B01J 19/08 登记生效日:20180413 变更前: 变更后: 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-05-04

    专利权的转移 IPC(主分类):B01J 19/08 登记生效日:20180413 变更前: 变更后: 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-01-30

    专利权的转移 IPC(主分类):B01J 19/08 登记生效日:20180110 变更前: 变更后: 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-01-30

    专利权的转移 IPC(主分类):B01J 19/08 登记生效日:20180110 变更前: 变更后: 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-01-30

    专利权的转移 IPC(主分类):B01J 19/08 登记生效日:20180110 变更前: 变更后: 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-03-23

    专利权的转移 IPC(主分类):B01J 19/08 登记生效日:20160304 变更前: 变更后: 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-03-23

    专利权的转移 IPC(主分类):B01J 19/08 登记生效日:20160304 变更前: 变更后: 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-03-23

    专利权的转移 IPC(主分类):B01J 19/08 登记生效日:20160304 变更前: 变更后: 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-03-23

    专利权的转移 IPC(主分类):B01J 19/08 登记生效日:20160304 变更前: 变更后: 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移

  • 2007-09-12

    授权

    授权

  • 2007-09-12

    授权

    授权

  • 2007-09-12

    授权

    授权

  • 2007-09-12

    授权

    授权

  • 2006-06-07

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20060512 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2006-06-07

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20060512 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2006-06-07

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20060512 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2006-06-07

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20060512 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2006-06-07

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20060512 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2006-06-07

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20060512 申请日:20030331

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2005-09-14

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-09-14

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-09-14

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-09-14

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-07-20

    公开

    公开

  • 2005-07-20

    公开

    公开

  • 2005-07-20

    公开

    公开

  • 2005-07-20

    公开

    公开

查看全部

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号