一种激光同步双剥蚀系统及其剥蚀方法

摘要

本发明公开了一种激光同步双剥蚀系统及其剥蚀方法，该激光同步双剥蚀系统包括单激光束整形子系统、以及双路调光子系统；所述单激光束整形子系统包括激光器、轴棱锥对、微光学元件、聚光镜、以及微孔转盘；所述双路调光子系统包括第一分光棱镜、第二分光棱镜、第一反射物镜、第二反射物镜、第一角度调谐滤光片、第二角度调谐滤光片、第一投影物镜、以及第二投影物镜。该方法包括：利用单激光束整形子系统来生成单激光束，并对所述单激光束进行整形；利用双路调光子系统来将经整形的所述单激光束分为第一光束和第二光束，并将所述第一光束和所述第二光束分别引导到样品和内标物质上，以实现对所述样品和所述内标物质的同步剥蚀。