准分子激光微区剥蚀分析系统控制及数据采集技术研究

目录

声明

摘要

第1章绪论

1．1选题背景及意义

1．1．1激光剥蚀背景介绍

1．1．2准分子激光背景介绍

1．2激光与物质相互作用机理分析

1．3准分子激光微区剥蚀系统应用介绍

1．3．1准分子激光诱导击穿光谱元素成像技术

1．3．2准分子激光剥蚀电感耦合等离子体质谱分析技术

1．4论文研究内容及创新点

第2章准分子激光微区剥蚀应用系统控制技术研究

2．1准分子激光微区剥蚀系统结构设计

2．1．1光路系统设计

2．1．2微区成像系统设计

2．2准分子激光剥蚀诱导击穿光谱元素成像系统控制技术

2．2．1系统结构分析

2．2．2控制系统开发框架研究

2．2．3精确控制技术实现

2．3准分子激光剥蚀电感耦合等离子体质谱系统控制技术

2．3．1系统结构分析

2．3．2精确控制技术实现

2．4本章小结

第3章准分子激光微区剥蚀应用系统数据采集技术研究

3．1准分子激光剥蚀诱导击穿光谱元素成像系统数据采集技术

3．1．1位移坐标数据处理及传输技术

3．1．2光谱数据稳定采集及多通道数据提取分析技术

3．1．3光谱数据高速采集及单通道数据提取分析技术

3．2准分子激光微区剥蚀电感耦合等离子体质谱系统数据采集技术

3．2．1位移数据传输技术

3．2．2载气流速设置及实时监控技术

3．3本章小结

第4章应用系统功能测试及性能分析

4．1准分子LIBS元素成像系统测试

4．1．1控制系统用户交互界面介绍

4．1．2稳定模式测试及性能分析

4．1．3高速模式测试及性能分析

4．2准分子LA-ICP-MS系统测试

4．2．1控制系统用户交互界面介绍

4．2．2准分子激光剥蚀进样系统功能测试

4．2．2剥蚀系统及质谱仪联机测试

4．3本章小结

第5章总结与展望

参考文献

致谢

在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果