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大气环境下超滑纳米晶-非晶碳薄膜的制备方法

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摘要

本发明公开了一种大气环境下超滑纳米晶‑非晶碳薄膜的制备方法，该制备方法包括以下步骤：将预清洁后的硅片放入丙酮、乙醇中超声清洗，然后转移至等离子体增强化学气相沉积设备的真空腔下部基底盘上，基底盘与负偏压电源相连；抽真空直到小于1.0×10

1. 大气环境下超滑纳米晶-非晶碳薄膜的制备方法 [P] . 中国专利： CN106011794B . 2018.10.23
2. 碳纳米线阵列镶嵌在非晶碳薄膜中的碳纳米线/非晶碳复合膜及其制备 [P] . 中国专利： CN108660427B . 2020.03.31
3. METHOD FOR PRODUCING Fe-BASE AMORPHOUS RIBBON FOR NANO- CRYSTAL MATERIAL AND METHOD FOR PRODUCING NANO-CRYSTAL MATERIAL [P] . 日本专利： JP2001252749A . 2001-09-18

机译：纳米晶材料的铁基非晶态碳的制备方法及纳米晶材料的制备方法
4. PRODUCTION METHOD OF AMORPHOUS CARBON NANOPARTICLE AND AMORPHOUS CARBON NANOPARTICLE [P] . 日本专利： JP2016166102A . 2016-09-15

机译：非晶碳纳米颗粒和非晶碳纳米颗粒的生产方法
5. NITROGEN-CONTAINING AMORPHOUS CARBON FILM, AMORPHOUS CARBON LAYERED FILM, AND SLIDING MEMBER [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2316983A4 . 2013-09-04

机译：含氮非晶碳膜，非晶碳层状膜和滑件