基于全反射X射线荧光光谱的元素定量分析方法和系统

摘要

本发明涉及一种基于全反射X射线荧光光谱的元素定量分析方法和系统。所述方法包括步骤：获取待测样品的全反射X射线荧光光谱；从所述全反射X射线荧光光谱中获得光谱背景曲线；从特征曲线库中获取预设的各个元素的特征曲线；根据所述光谱背景曲线和预设的各个元素的特征曲线对所述全反射X射线荧光光谱进行拟合，获得所述待测样品中包含的各个元素的浓度。本发明可以在全谱段范围内解决待测元素和未知元素的光谱相互干扰问题，获得更精确的定量分析结果。