一种单频激光干涉仪非线性误差补偿装置

摘要

本发明公开了一种单频激光干涉仪非线性误差补偿装置，其特征是激光器发出的光束经偏振分光棱镜分束后，其透射光投射至直角棱镜，并返回偏振分光棱镜形成参考光S；其反射光投射至平面反射镜，并返回偏振分光棱镜形成测量光P；在参考光路放置沿S方向的线偏振片；在测量光路放置沿P方向的线偏振片，实现非正交误差补偿；在线偏振片的出射光路中设置半透半反镜，使参考光和测量光合束后经消偏振分光棱镜均匀分束，其透射光经四分之一波片，再经偏振分光棱镜产生干涉信号I₁和I₂；其反射光经偏振分光棱镜产生干涉信号I₃和I₄；I₁，I₂，I₃和I₄的相位互差90°。本发明使单频激光干涉仪的非线性误差得到有效的补偿。