通过金属氧化物检测气体的传感器的制造方法及传感器

摘要

本发明提供的一种通过金属氧化物检测气体的传感器的制造方法及传感器，包括如下步骤：包括如下步骤：在硅片衬底上用等离子体增强化学气相沉积法淀积第一氧化硅薄膜层；对第一金属薄膜层进行干法刻蚀，在第一金属薄膜层上刻出加热电阻层图形；在第二金属薄膜层上面用物理气相沉积法淀积第三金属薄膜层，并对第三金属薄膜层进行光刻和干法刻蚀；利用干法或湿法刻蚀位于第二接触孔下方与第二接触孔对应的第二氧化硅薄膜层；在光刻胶上及第二接触孔内用物理气相沉积法淀积金属氧化物薄膜层。本发明的有益效果如下：可以精确检测环境气体的成分和浓度。因此可以降低制造成本，减少产品的体积和功耗，增加可靠性和一致性，提高产品的灵敏度和精度。