纳米激光器测尺及实现纳米测量的细分方法

摘要

纳米激光器测尺及其实现纳米测量的细分方法属于激光精密计量技术领域，其特征在于：它在以猫眼作腔镜的位移自传感HeNe激光器系统的基础上，增加一个可和待测物体共同改变腔长的精密的微位移压电传感器，即PZT。输出的正交偏振光经偏振分光镜分光后，投射到两支光电探测器上，并由其后续电路进行计大数、测小数处理，得到位移测量结果并输出。它在测量前，用输出等光强电的办法，消除了现有技术中起始脉冲的误差，再在大范围的位移测量过程中，对功率调谐曲线所经过的周期数计数，最后，用微位移压电传感器测量最后一个没有被校准的周期，即测小数，从而达到更高精度、更高分辨率。