快速采样法的高细分倍数光栅纳米测量

摘要

提出了光栅信号快速采样与精确测量相结合的光栅纳米测量方法,给出了在高速测量条件下的光栅纳米测量的细分算法、信号快速采样和数据处理。测试结果表明,测量速度与光栅细分倍数无关,当选用光栅栅距为20mm的光栅尺,在2000000倍的细分数下,能够实现小于1nm的有效测量分辨率和每光栅周期仅采样10个点的测量速度。