一种晶圆反应腔室及晶圆反应腔室之晶圆保护方法

摘要

一种晶圆反应腔室，包括：反应腔室本体，设置进气阀门和出气阀门，并围闭形成晶圆的容置腔；托环载体，呈面向设置在反应腔室本体之底板处，并在呈面向设置的一侧形成“凸”型空间，且托环载体在驱动电机的作用下移动；晶圆托环，设置在托环载体之异于底板的一侧；密封垫圈，设置在托环载体之异于底板的一侧内边缘；第一伸缩支架，设置在“凸”型空间内；真空隔离灯罩，可伸缩式的设置在反应腔室本体之顶板处。本发明晶圆反应腔室在机台故障时，可自动形成密闭空间，并在重新建立真空环境，通入反应气体时，将晶圆从密闭空间内回至晶圆托环处，不仅结构简单、使用方便，而且有效避免冲击过程中形成颗粒物污染，提高产品良率。