一种气囊控制的微量药物输送执行器

摘要

本发明涉及医疗器械领域，是一种新型硅尖微针阵列微执行器的结构和制作方法。一种气囊控制的微量药物输送执行器，由在硅基片一面上利用微电子机械加工工艺刻蚀出硅针阵列和微通道阵列，在硅片的另一面制作反应室，利用PDMS作样品或药物的反应室底部，PDMS隔膜与另一刻蚀有气囊室的硅片组成气囊，气囊内装载含结晶水的氯化锂，气囊外沉积铂金加热电极，使得气囊膨胀压迫反应室，使反应室体积发生变化，实现微量输送药物的目的。