法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-15
授权
授权
2016-06-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B1/11 申请日:20151021
实质审查的生效
2016-05-04
公开
公开
机译: 通过自组装制造具有密闭型单层膜的方法以及具有该单层膜的电子设备
机译: 包括具有自组装单分子层的光学元件,具有自组装单层膜的光学元件的EUV光刻投影设备,应用自组装单层膜的方法,设备制造方法和由此制造的设备
机译: 包括具有自组装单分子层的光学元件,具有自组装单层膜的光学元件的EUV光刻投影设备,应用自组装单层膜的方法,设备制造方法和由此制造的设备