用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置

摘要

本发明提供了一种用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置，包括真空室、溅射源、底盘和样品托盘，所述溅射源、所述底盘和所述样品托盘均安装在所述真空室内，所述样品托盘安装在所述底盘上，所述样品托盘设置在所述溅射源的溅射范围内。本发明的用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置使用方便，使用时沉积条件相同，一致性好，能够快速辨识多元薄膜体系的结构和性能变化，给多元薄膜体系的研究提供准确参考。