多晶硅的晶体取向度评价方法以及多晶硅棒的选择方法

摘要

针对从多晶硅棒采集的圆板状试样(20)进行评价时，会在扫描图表中出现峰值。这种峰值的个数越少，或者其半峰宽越窄，越适合用作单晶硅制造用原料。扫描图表中出现的峰值的个数，对于米勒指数面<111>及<220>的任一个，优选在圆板状试样的每单位面积的换算下为24根/cm²以下。并且，将圆板状试样的半径设为R₀时，将上述峰值的半峰宽乘以δL＝2^1/2πR₀/360得到的值定义为非均质晶体粒径，优选将该非均质晶体粒径均小于0.5mm的试样选择作为单晶硅制造用原料。