公开/公告号CN102156390B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201110086003.8
申请日2008-09-27
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王波波
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 09:53:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-01
授权
授权
2011-09-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20080927
实质审查的生效
2011-08-17
公开
公开
机译: 关于浸没光刻技术和液体浸没光刻设备的方法
机译: 方法涉及浸没式光刻和浸没式光刻设备。
机译: 减少流体提取系统的方法,浸没式光刻设备以及在该浸没式光刻设备中使用的浸没液体的压力波动