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超声波漏斗型辐射体及使用该超声波漏斗型辐射体的超声波接合装置

摘要

提供一种超声波接合装置,通过加载而超声波漏斗型辐射体上不产生挠曲,能使载荷和振动均匀地作用于接合面整体上,从而能获得均匀、优良的接合质量。这种超声波接合装置将按压载荷和超声波振动加在接合对象物上,对被接合对象物进行接合,包括形成左右对称的大致为倒三角形的超声波漏斗型辐射体(10A),安装在超声波漏斗型辐射体的左右至少一方的顶部(12),向下顶部(11)方向输入超声波振动的振动子(20),以及与就在下顶部(11)的上方连接,在超声波漏斗型辐射体(10A)上施加向下的按压载荷的加载装置(30)。超声波辐射部的下顶部(11)上设置将接压载荷和超声波振动传给接合对象物的接触部件(17)。

著录项

  • 公开/公告号CN1241245C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2006-02-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社村田制作所;

    申请/专利号CN03106652.6

  • 发明设计人 東山祐三;

    申请日2003-02-25

  • 分类号H01L21/607(20060101);H01L21/60(20060101);B06B1/02(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人赵国华

  • 地址 日本京都府长冈京市

  • 入库时间 2022-08-23 08:58:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2006-02-08

    授权

    授权

  • 2003-11-26

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2003-09-10

    公开

    公开

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