微粒分级测定装置、粒子浓度分布均匀的试样制作装置、以及纳米粒子膜成膜装置

摘要

在能够使流经内部的试样气体形成层流的平行的流路的入口侧配置有带电器，带电器包含放电电极，使试样气体中的微粒带电。在该流路的相对的一对面中的一个面上，在带电器的下游，将1个或多个吸引侧电极沿着流路方向配置于离流路入口不同距离的位置上。在该流路的相对的一对面中的另一面上配置有分级电极。分级电极与吸引侧电极相对配置，在分级电极与吸引侧电极之间，发生将流经流路的试样气体中的带电微粒吸附于吸引侧电极一侧的电场。