公开/公告号CN106940282A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-07-11
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社岛津制作所;
申请/专利号CN201610898689.3
发明设计人 奥田浩史;
申请日2013-06-04
分类号
代理机构上海华诚知识产权代理有限公司;
代理人肖华
地址 日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
入库时间 2023-06-19 02:48:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-25
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N15/02 申请公布日:20170711 申请日:20130604
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-08-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N15/02 申请日:20130604
实质审查的生效
2017-07-11
公开
公开
机译: 精细分级仪测量装置,颗粒浓度分布均匀,样品制备设备,纳米颗粒膜成膜装置
机译: 可以切换两种磁通分布模式(平衡模式/非平衡模式)的磁控溅射设备,使用该设备和双模式磁控溅射设备形成无机成膜材料的膜的成膜方法,以及使用该装置在低温下形成膜的无机成膜材料的成膜方法
机译: 颗粒分类器测定装置,样品制造装置,颗粒浓度分布均匀,纳米颗粒成膜装置