法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-23
授权
授权
2015-08-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20140904
实质审查的生效
2015-07-15
公开
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机译: III族氮化物衬底的制造方法,III族氮化物衬底,具有外延层的III族氮化物衬底,III族氮化物器件,具有外延层的III族氮化物衬底的制造方法以及III族氮化物器件的制造方法
机译: III族氮化物衬底的制造方法,III族氮化物衬底,具有外延层的III族氮化物衬底,具有外延层的III族氮化物衬底的制造方法以及III族氮化物器件的制造方法
机译: III族氮化物复合衬底及其制造方法,层压的III族氮化物复合衬底,III族氮化物半导体器件及其制造方法