一种提升散热效果的化学气相沉积炉

摘要

本实用新型提供一种提升散热效果的化学气相沉积炉，包括：炉体，所述炉体内开设有存放槽，所述存放槽的内壁固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的活动端固定连接有存料管；固定箱，所述固定箱固定连接于所述存放槽开口的同一侧，所述固定箱的中部固定连接有固定筒。本实用新型提供一种提升散热效果的化学气相沉积炉，通过设置有螺旋循环管，可以防止工人存放筒，保证工人的安全健康，并且在开启循环泵时，会使冷却液在螺旋循环管内流动，对螺旋循环管周围的空气进行降温，加快对存料管的散热，且与抽气机配合，加快螺旋循环管与存料管周围的空气流速，对存料管进一步散热，通过双重散热可以有效使存料管快速降温。