半导体热处理设备的夹持机构及半导体热处理设备

摘要

本实用新型公开一种半导体热处理设备的夹持机构及半导体热处理设备，所述半导体热处理设备还包括微环境腔室和承载平台，所述夹持机构用于与所述承载平台共同定位晶圆传输盒和所述微环境腔室的相对位置，所述夹持机构包括驱动机构、定位部和滚动体；所述驱动机构与所述定位部传动连接，所述定位部的外周壁上设置有所述滚动体，所述滚动体可相对于所述定位部转动，所述驱动机构可驱动所述定位部朝向位于所述承载平台上的所述晶圆传输盒移动，以使所述定位部与开设于所述晶圆传输盒顶部的定位凹槽定位配合，所述定位部通过所述滚动体与所述定位凹槽的侧壁相接触。上述方案能够解决晶圆传输盒发生变形的问题。