法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-29
专利权的转移 IPC(主分类):G01M 9/02 登记生效日:20180509 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2016-08-17
授权
授权
2016-08-17
授权
授权
2016-01-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 9/02 申请日:20150914
实质审查的生效
2016-01-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 9/02 申请日:20150914
实质审查的生效
2015-12-16
公开
公开
2015-12-16
公开
公开
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机译: 流量控制器,流量测量装置测试方法,流量控制器测试系统和半导体制造装置
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