一种PECVD沉积腔体和PECVD沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种PECVD沉积腔体和PECVD沉积装置，所述主体一侧设有所述电动机，所述电动机固定连接所述旋转杆，所述旋转杆的一端转动连接所述第一连接杆的一端，所述第一连接杆的另一端转动连接所述第一沉积腔体，所述主体内部设有所述支架，所述主体一侧设有所述密封阀门，所述密封阀门固定连接所述真空机，所述主体顶部设有所述气体扩散器，所述气体扩散器固定连接所述气管的一端，所述气管的另一端固定连接所述化学气瓶，本实用新型通过转动旋转杆与连接联动第一沉积腔体与第二沉积腔体，实现对基片的翻转，使得基片在沉积时效果更均匀，同时沉积腔体内部采用弧形槽设计，使得上表面与下表面温度误差不会太大，同时加强了效率。