射频离子源系统及离子源设备

摘要

本申请涉及一种射频离子源系统，包括：设于真空腔室外的射频匹配网络，以及置于真空腔室内的射频离子源和屏蔽外壳；所述射频离子源连接有用于对射频线圈进行水冷的水冷负载输入线以及与射频匹配网络连接的射频负载线；所述射频离子源的底部与所述屏蔽外壳的一端通过硬连接方式连接；所述屏蔽外壳另一端与安装在真空腔室上的真空法兰接头连接；所述射频负载线和所述水冷负载输入线通过所述屏蔽外壳内部贯穿到真空腔室的外部；所述屏蔽外壳用于固定所述射频离子源以及对所述射频负载线进行屏蔽保护。上述技术方案，使得射频离子源安装更加稳定，不易移位，而且使得水冷负载输入线安装过程也更加简单、方便。本申请还提供一种离子源设备。