公开/公告号CN210560704U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-05-19
原文格式PDF
申请/专利权人 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司;
申请/专利号CN201920998780.1
申请日2019-06-29
分类号
代理机构
代理人
地址 215600 江苏省苏州市张家港市张家港经济技术开发区福新路2号
入库时间 2022-08-22 14:02:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-19
授权
授权
机译: 膜厚监视方法,膜厚监视系统,半导体装置的制造方法以及膜厚监视系统的控制程序产品
机译: 膜厚监视方法,膜厚监视系统,半导体装置的制造方法以及膜厚监视系统的控制程序产品
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