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Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)
Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)
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1.
Ultra-high Barrier Coatings on Polymer Substrates for Flexible Optoelectronics: Water Vapor Transport and Measurement Systems
机译:
柔性光电聚合物基板上的超高阻隔涂层:水蒸气传输和测量系统
作者:
A.G. Erlat
;
M. Schaepkens
;
T.W. Kim
;
C.M. Heller
;
M. Yan
;
P. McConnelee
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
water vapor permeation;
OLED;
calcium test;
ultra high barrier;
2.
Vacuum Deposition of Thick Multilayers on Thin Flexible Polymer Substrates
机译:
在薄的柔性聚合物基底上真空沉积厚的多层
作者:
N. Magriotis
;
G. Comini
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
film thickness;
web coating thermal modeling;
thermal evaporation;
sputter deposition;
3.
Versatile Reactive Sputtering Batch Drum Coater with Auxiliary Plasma
机译:
带有辅助等离子体的多功能反应溅射间歇式滚筒涂布机
作者:
M.A. George
;
H.R. Gray
;
N. Boling
;
E. Krisl
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
magnetron sputtering;
optical coatings;
microwave plasma;
multilayer deposition;
4.
Versatile Sputtering Capability from a Remote, High Intensity, Plasma Source
机译:
远程,高强度等离子源的多功能溅射能力
作者:
D. Bingaman
;
M. Thwaites
;
B. Holton
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputtering;
high utilization;
plasma;
target;
5.
Thin Film Surface Roughness of Sublimated Aluminum Tris-Hydroquinoline (AlQ_3) versus Growth Rate and Source Configuration via Atomic Force Microscopy
机译:
通过原子力显微镜对升华铝三氢喹啉(AlQ_3)的薄膜表面粗糙度与生长速率和源构型的关系
作者:
G.L. Smith
;
T. Dockstader
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
AlQ_3;
OLED;
AFM;
linear;
6.
Training Systems for RF Plasma Technology
机译:
射频等离子体技术培训系统
作者:
D.M. Hata
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
technician training;
RF plasma systems;
impedance matching;
sputtering;
7.
The Influence of the Deposition Conditions on the Optical and Compositional Characteristics of SiO_x Thin Films Deposited by ECR-PECVD
机译:
沉积条件对ECR-PECVD沉积SiO_x薄膜光学和组成特性的影响
作者:
J. Wojcik
;
P. Mascher
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
ECR-PECVD;
ellipsometry;
silicon rich silicon oxide (SRSO);
rutherford backscattering (RBS);
8.
The Production of Ultra-Low Loss AR Coatings
机译:
超低损耗增透膜的生产
作者:
I. Stevenson
;
G. Sadkhin
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
antireflection;
optical fibers;
ion-assisted deposition;
optical return loss;
9.
The Reactive Sputter Deposition of Aluminum Oxide Coatings Using High Power Pulsed Magnetron Sputtering (HPPMS)
机译:
使用大功率脉冲磁控溅射(HPPMS)的氧化铝涂层的反应溅射沉积
作者:
W.D. Sproul
;
D.J. Christie
;
D.C. Carter
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputter deposition;
reactive deposition;
partial pressure control;
high power pulsed magnetron sputtering (HPPMS);
10.
Sputtering of Conductive ZAO Films from Metallic and Ceramic Targets using Planar and Cylindrical Magnetrons
机译:
使用平面和圆柱磁控管从金属和陶瓷靶溅射ZAO导电膜
作者:
F. Milde
;
M. Dimer
;
J. Fiukowski
;
J. Struempfel
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
reactive sputter deposition;
cylindrical magnetron;
transparent conductive oxides;
film morphology;
11.
Stress Reduction in Sputter Deposited Thin Films Using Physically Self-Assembled Nanostructures as Compliant Layers
机译:
使用物理自组装纳米结构作为顺应层降低溅射沉积薄膜的应力
作者:
T. Karabacak
;
J.J. Senkevich
;
G.-C. Wang
;
T.-M. Lu
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputter deposition;
film stress;
adhesion;
self-assembly;
12.
Structural Characterization of Wurtzite Al_(1-x)In_xN (0.1 < x < 0.9) Grown by Dual Reactive DC Magnetron Sputter Deposition
机译:
双反应直流磁控溅射沉积生长的纤锌矿型Al_(1-x)In_xN(0.1
作者:
T. Seppaenen
;
P.O.A. Persson
;
G.Z. Radnoczi
;
B. Pecz
;
L. Hultman
;
J. Birch
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
magnetron sputtering;
phase separation;
transmission electron microscopy;
X-ray diffraction;
13.
Scratch-Adhesion Durability Testing of Display Coatings
机译:
显示涂层的耐刮擦耐久性测试
作者:
N. Gitis
;
M. Vinogradov
;
J. Xiao
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
coating;
durability;
adhesion;
scratch;
14.
Rotatable ZnO Targets-A New Generation of Ceramic Targets
机译:
可旋转的ZnO靶-新一代陶瓷靶
作者:
G. Huettl
;
K. Schwarz
;
K. Boehme
;
F. Juergens
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputtering targets;
zinc oxide;
ceramic rotatable targets;
large area coating;
15.
Replacement of Hard-Chrome in Cylinder Liners- A PVD Deposition Approach
机译:
更换缸套中的硬铬-PVD沉积方法
作者:
V. Bellido-Gonzalez
;
A. Igartua
;
G. Mendoza
;
S. Powell
;
M.G. Talks
;
E. Momene
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputter deposition;
life cycle analysis;
wear abrasion resistant coatings;
corrosion resistant coatings;
16.
Removing Surface Contaminants from Silicon Wafers to Facilitate EUV Optical Characterization
机译:
从硅晶片上去除表面污染物以促进EUV光学表征
作者:
R.E. Robinson
;
R.L. Sandberg
;
D.D. Allred
;
A.L. Jackson
;
J.E. Johnson
;
W. Evans
;
T. Doughty
;
A.E. Baker
;
K. Adamson
;
A. Jacquier
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
substrate cleaning;
silicon cleaning;
strippable coating;
UV/ozone cleaning;
17.
Slightly Conductive Transparent Films for Space Applications- Manufacturability and Durability
机译:
用于太空应用的微导电透明薄膜-可制造性和耐久性
作者:
N. Uppala
;
J. Griffin
;
J. Vemulapalli
;
P.D. Hambourger
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
transparent/conductive coatings;
optical emission (plasma);
PEM;
ITO;
18.
Influence of Rotating Magnets on Hysteresis in Reactive Sputtering
机译:
反应溅射中旋转磁体对磁滞的影响
作者:
O. Kappertz
;
T. Nyberg
;
D. Rosen
;
S. Berg
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputter deposition;
sputtering targets;
reactive deposition;
rotating magnets;
19.
Industrial Batch Coater with Integrated Laser-Arco~reg; Technology
机译:
具有集成Laser-Arco〜®技术的工业批量涂布机
作者:
H.-J. Scheibe
;
C.-F. Meyer
;
M. Leonhardt
;
T. Schuelke
;
J. Asmussen
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
laser controlled vacuum arc;
pulsed vacuum arc;
super hard carbon coatings;
plasma sources;
20.
Influence of DC and MF Sputter Technology on the Properties of ITO Layers on PET Film
机译:
DC和MF溅射技术对PET薄膜ITO层性能的影响
作者:
H.-G. Lotz
;
P. Sauer
;
R. Kukla
;
M. Liehr
;
J. Schroeder
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
ITO;
MF;
PET;
sputter deposition;
21.
High Accurate In Situ Optical Thickness Monitoring for Multilayer Coatings
机译:
多层涂层的高精度原位光学厚度监测
作者:
A. Zoeller
;
M. Boos
;
H. Hagedorn
;
W. Klug
;
C. Schmitt
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
optical monitoring;
plasma ion assisted deposition;
direct optical monitoring;
magnetron sputtering;
22.
Hot Hollow Cathode Arc Deposition of Highly Oriented Chromium and Chromium Nitride Films
机译:
高取向铬和氮化铬薄膜的热空心阴极电弧沉积
作者:
L. Bardos
;
H. Barankova
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
hollow cathode;
chromium films;
diffuse arc deposition;
CrN films;
23.
High Speed EB-PVD Web Coating- A New Coater Concept for New Applications
机译:
高速EB-PVD Web涂层-适用于新应用的新涂层概念
作者:
E. Reinhold
;
M. List
;
H. Neumann
;
C. Steuer
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
high rate deposition;
EB-PVD;
on-line measurement;
titanium oxide coating;
24.
High Rate Evaporation of Alloys
机译:
合金的高速率蒸发
作者:
J.P. Zijp
;
J.F.M. Velthuis
;
J.L. Linden
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
large area coating;
thermal evaporation;
web coating vaporization sources;
25.
Flexible and High Throughput Deposition of Multilayer Optical Coatings Using Closed Field Magnetron Sputtering
机译:
封闭磁场磁控溅射多层光学镀膜的柔性高通量沉积
作者:
D.R. Gibson
;
J.M. Walls
;
I. Brinkley
;
D.G. Teer
;
P. Teer
;
J. Hampshire
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
magnetron sputtering;
optical coatings;
optical coating equipment;
ion assisted deposition;
26.
Gas Barrier Properties of Transparent Metal Oxide Coatings on PET Film
机译:
PET薄膜上透明金属氧化物涂层的阻气性
作者:
B.M. Henry
;
H. E. Assender
;
A.G. Erlat
;
C.R.M. Grovenor
;
G.A.D. Briggs
;
T. Miyamoto
;
Y. Tsukahara
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
permeation barrier coatings;
oxygen permeation;
moisture permeation;
polymer substrate;
27.
Gas Barrier Performance of Surface-Modified Silica Films: Dependencies on Surface Functional Groups of the Films
机译:
表面改性二氧化硅薄膜的阻气性能:对薄膜表面官能团的依赖性
作者:
K. Teshima
;
H. Sugimura
;
Y. Inoue
;
O. Takai
;
A. Takano
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
moisture permeation;
oxygen permeation;
hydrophobic coating;
plasma Enhanced CVD;
28.
Effects of Methods of Manufacturing Sputtering Targets on Characteristics of Coatings
机译:
溅射靶的制备方法对涂层性能的影响
作者:
J.J. Finley
;
S.D. Walck
;
E. Bono
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputtering target;
TiAl;
sputter deposition;
coating;
29.
Effective Closed-Loop Control for Reactive Sputtering Using Two Reactive Gases
机译:
使用两种反应气体进行反应性溅射的有效闭环控制
作者:
D.C. Carter
;
W.D. Sproul
;
D.J. Christie
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
reactive sputtering;
deposition;
oxynitride;
closed-loop control;
30.
Enhancements to Rotating Cylindrical Magnetrons
机译:
旋转圆柱磁控管的增强
作者:
J. Rietzel
;
S. Nadel
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputter deposition;
end block;
magnetron;
AC power;
31.
Engineered Tribological Coatings
机译:
工程摩擦涂层
作者:
D. Zhong
;
K. Ho Kim
;
I.-W. Park
;
T. Dennin
;
B. Mishra
;
E. Levashov
;
J.J. Moore
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
nanocomposite coatings;
functionally graded coatings;
physical vapor deposition;
protective coatings;
32.
Electrospray: Wings for Molecular Elephants
机译:
电喷雾:分子象的翅膀
作者:
J.B. Fenn
;
V.A. Shamamian
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
electrospray;
mass spectrometry;
atomic and molecular beams;
supersonic expansions;
33.
Essence of UHV Technology in Surface Processing Systems
机译:
特高压技术在表面处理系统中的本质
作者:
C. Hayashi
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
vacuum engineering;
desposition technique;
media coating;
surface engineering;
34.
Cylindrical Magnetron Sputter Deposition of Chromium Coatings for Erosion and Wear Resistant Application
机译:
圆柱形磁控溅射镀铬涂层的耐冲蚀和耐磨性能
作者:
K. Truszkowska
;
M. Wotzak
;
F. Yee
;
G.N. Vigilante
;
M. Cipollo
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
chromium;
thick coatings;
cylindrical magnetron sputtering;
morphology;
35.
Cylindrical Magnetron Sputtering in a Ferromagnetic Cylinder
机译:
铁磁圆柱体中的圆柱磁控溅射
作者:
F. Yee
;
M. Wotzak
;
M. Cipollo
;
K. Truszkowska
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
cylindrical;
chromium;
magnetron;
tantalum;
36.
Comparison of Titanium Oxide Coatings Deposited by PVD and PECVD
机译:
PVD和PECVD沉积的钛氧化物涂层的比较
作者:
A. Kolouch
;
A. Mackova
;
T. Polcar
;
J. Krumeich
;
P. Spatenka
;
N. Ganev
;
J. Karasek
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
TiO_x;
PECVD;
PVD;
tribology;
37.
Control of Transparent Conductive and Antireflection Coating Deposition Processes
机译:
透明导电和防反射涂层沉积工艺的控制
作者:
E. Yadin
;
V. Kozlov
;
E. Machevskis
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
reactive deposition;
optical emission (plasma);
web coating process monitoring;
optical coating equipment;
38.
Continuous, Substrateless Production of Nanoparticles and Nanosheets
机译:
连续,无底物生产纳米颗粒和纳米片
作者:
W.C. Kittler
;
Jr.
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
vacuum system design;
optically variable coatings;
permeation barrier coating;
deposition techniques;
39.
Buckling or Wrinkling of Thin Webs off a Drum
机译:
鼓上薄网的屈曲或起皱
作者:
M.J. McCann
;
D.P. Jones
;
J. Affinito
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
polymer;
wrinkling;
contamination;
web equipment design and construction;
40.
Broadband Antireflection Coating Design Recommendations
机译:
宽带减反射膜设计建议
作者:
R.R. Willey
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
broadband antireflection coatings;
optical coating design;
design guidance;
estimating limitations;
41.
Application of Ion Beam Assisted Thin Film Deposition Techniques to the Fabrication of a Biosensor Chip With Fieldability Potential for Important Biohazard Detection Applications
机译:
离子束辅助薄膜沉积技术在重要现场生物危害检测应用中具有现场潜力的生物传感器芯片的应用
作者:
D. Lloyd
;
L. Hornak
;
S. Pathak
;
D. Morton
;
I. Stevenson
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
biosensor;
IBAD;
moisture stable;
integrated optical waveguide;
42.
Arc Management in DC and MF Generators for Large Area Coating Systems
机译:
大面积涂层系统的DC和MF发电机中的电弧管理
作者:
T. Rettich
;
P. Wiedemuth
;
L. Anderson
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputter deposition;
power supplies;
reactive deposition;
arc management;
43.
Atmospheric Pressure Plasma Source for Wire Cleaning
机译:
常压等离子源,用于电线清洁
作者:
D. Korzec
;
M. Teschke
;
E.G. Finantu
;
G. Nau
;
J. Engemann
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
cleaning (metal);
particle removal;
atmospheric pressure plasma;
plasma source;
44.
An Integrated Process Control, Trending, and Logging System for a Vacuum Web Coater Running Several Reactive Sputtering Processes
机译:
运行多个反应溅射过程的真空卷筒涂布机的集成过程控制,趋势和记录系统
作者:
P. Diffendaffer
;
B. Smith
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
web coating process monitoring;
sputter deposition;
reactive deposition;
optical emission (plasma);
45.
Adhesion Promotion Techniques for Coating of Polymer Films
机译:
聚合物薄膜涂层的增粘技术
作者:
R. Rank
;
T. Wuensche
;
M. Fahland
;
C. Charton
;
N. Schiller
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
pre-treatment;
surface modification;
plasma sources;
polymer web;
46.
Aluminum Soldering Performance Testing of H13 Steel as Boron Coated by the Cathodic Arc Technique
机译:
阴极电弧技术涂覆硼的H13钢的铝焊性能测试
作者:
G. Mackiewicz Ludtka
;
V.K. Sikka
;
J.M. Williams
;
C.C. Klepper
;
R.C. Hazelton
;
E.J. Yadlowsky
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
cathodic arc deposition;
corrosion resistant coating H13 steel;
soldering;
47.
A New Method for Stabilization of Sputtered ZrO_2 Coatings Using Gd_2O_3
机译:
Gd_2O_3稳定ZrO_2溅射镀层的新方法。
作者:
V. Teixeira
;
A. Portinha
;
J. Carneiro
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
zirconium oxide coating;
phase stabilization;
reactive magnetron sputtering;
nanocomposite PVD coatings;
48.
A New Class of Ultra-Barrier Materials
机译:
新型超阻隔材料
作者:
J. Affinito
;
D. Hilliard
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
ultra-barrier;
multilayer coating;
diffusion;
polymer coating;
49.
A Novel Pulsed Supply With Arc Handling and Leading Edge Control as Enabling Technology for High Power Pulsed Magnetron Sputtering (HPPMS)
机译:
一种具有电弧处理和前沿控制功能的新型脉冲电源,可作为大功率脉冲磁控溅射(HPPMS)技术
作者:
D.J. Christie
;
W.D. Sproul
;
D.C. Carter
;
F. Tomasel
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputtering;
high power pulsed magnetron sputtering;
arc handling;
HPPMS;
50.
Real-time Monitoring of Ion Energy and Ion Flux in Plasma Reactors Using RF Current and Voltage Measurements
机译:
使用RF电流和电压测量实时监测等离子体反应器中的离子能量和离子通量
作者:
M.A. Sobolewski
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
monitoring (in situ);
plasma source;
power supplies;
system operation;
51.
Plasma Emission Monitoring of Low Rate Materials on Rotating Cylindrical Magnetrons
机译:
旋转圆柱磁控管上低速材料的等离子体发射监测
作者:
P. Greene
;
S. Nadel
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputter deposition;
SiO_2;
TiO_2;
optical emission monitoring;
52.
Plasma Characterization of the Variable Magnetron
机译:
可变磁控管的等离子体表征
作者:
J.W. Bradley
;
S. Thompson
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
deposition techniques;
deposition source design/manufacture;
plasma and ion beam generation;
53.
p-Type Sb-doped ZnO Thin Films Prepared with Filtered Vacuum Arc Deposition
机译:
过滤真空电弧沉积制备的p型掺杂Sb的ZnO薄膜
作者:
T. David
;
S. Goldsmith
;
R.L. Boxman
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
zinc oxide (ZnO);
filtered vacuum arc deposition (FVAD);
p-type;
antimony (SB) doping;
54.
Production Equipment for Plasma Enhanced CVD Permeation Barrier Coating of PET Beverage Bottles
机译:
PET饮料瓶的等离子增强CVD渗透屏障涂层生产设备
作者:
H. Gruenwald
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
plasma enhanced CVD;
permeation barrier coatings;
polymer substrates;
oxygen permeation;
55.
Optical Coatings for Special Effect Pigments
机译:
特殊效果颜料的光学涂料
作者:
G. Pfaff
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
optical coating;
web coating;
color;
film thickness;
56.
Nanocomposite TiC_xN_y/SiCN Superhard Coatings Prepared by PECVD
机译:
PECVD制备纳米复合TiC_xN_y / SiCN超硬涂层
作者:
P. Jedrzejowski
;
J.E. Klemberg-Sapieha
;
L. Martinu
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
nanocomposites;
microstructure;
mechanical properties;
color;
57.
New Sputtering Targets: to Test or Not to Test?
机译:
新的溅射靶:要测试还是不测试?
作者:
J.O. McGeever
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputtering target;
sputtering materials;
sputter deposition;
reactive deposition;
58.
New Technology For Rotary Target Tubes
机译:
旋转靶管的新技术
作者:
B.W. Webb
;
G.M. Wityak
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputtering targets;
rotary targets;
optical coatings;
thin films;
59.
New Modular Roll-to-Roll PVD Web Coater For Clean Room Production
机译:
用于洁净室生产的新型模块化卷对卷PVD卷筒纸涂布机
作者:
R. Kukla
;
H.G. Lotz
;
R. Ludwig
;
P. Sauer
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
web equipment design and construction;
web coating applications;
sputter deposition;
thermal evaporation;
60.
Modeling of Sputtering Equipment, Process and Film Growth as an Engineering Tool: Building a Virtual Sputter Tool
机译:
作为工程工具对溅射设备,工艺和薄膜生长进行建模:构建虚拟溅射工具
作者:
J.C.S. Kools
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
process modeling;
film growth modeling;
PVD;
61.
Multilayer Protective Coatings for Polycarbonates Prepared by Plasma Enhanced CVD
机译:
等离子增强CVD制备的聚碳酸酯多层保护涂层
作者:
Z. Kucerova
;
L. Zajickova
;
V. Bursikova
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
plasma enhanced CVD;
wear/abrasion-resistant coatings;
stability properties;
polymer substrates;
62.
Materials Processing in Electron Beam-Generated Plasmas
机译:
电子束产生等离子体中的材料处理
作者:
C. Muratore
;
S.G. Walton
;
D. Leonhardt
;
R.F. Fernsler
;
R.A. Meger
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
plasma source;
pulsed plasma;
reactive deposition;
metallization;
63.
Metal Plasma Immersion Ion Implantation Deposition (MPIIID) using a ewly Developed Plasma Source
机译:
使用新开发的等离子体源进行金属等离子体浸没离子注入和沉积(MPI I&D)
作者:
R. Wei
;
T. Booker
;
C. Rincon
;
J. Arps
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
metal plasma source;
plasma immersion ion implantation and deposition;
tribological applications;
64.
Metallized Polymer Films as Replacement for Aluminum Foil in Packaging Applications
机译:
金属化聚合物薄膜可替代包装应用中的铝箔
作者:
W. Decker
;
D. Roy
;
C. Voght
;
C. Roy
;
P. Dabbert
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
aluminum foil;
foil replacement;
barrier film;
packaging film;
65.
Metrology Tool for Optical Thin Films on Large Area Substrate
机译:
大面积基板上光学薄膜的计量工具
作者:
Y. Ji
;
E. Teboul
;
L. Hou
;
Q. Shang
;
P. Amary
;
T. Labaye
;
R. Benferhat
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
optical thin film;
thickness;
large area coating;
66.
Light Scattering, Photothermal Microscopy and Laser Damage of Optical Interference Coatings
机译:
光学干涉涂层的光散射,光热显微镜和激光损伤
作者:
C. Amra
;
M. Commandre
;
C. Deumie
;
J.Y. Natoli
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
optical coatings;
film characterization;
depositiontechniques;
substrate material;
67.
Latest Developments of Large Area Coater and Application
机译:
大面积涂布机的最新发展及应用
作者:
M. Geisler
;
C. Braatz
;
J. Bruch
;
A. Kastner
;
R. Newcomb
;
A. Reus
;
G. Kleideiter
;
M. Englert
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputtering;
large area coating;
architectural glass;
68.
Internal ICP Assisted Magnetron Sputtering for Fast Deposition at Low Pressure (10~(-4) mbar range) in Semi Industrial Coating Chamber (0.1 m~3)
机译:
内部ICP辅助磁控溅射技术,可在半工业镀膜腔室(0.1 m〜3)中以低压(10〜(-4)mbar范围)在低压下快速沉积
作者:
C. Nouvellon
;
J.P. Dauchot
;
Y. Paint
;
F. Monteverde
;
M. Hecq
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
ion assisted deposition;
sputter deposition;
reactive deposition;
electronic microscopy;
69.
Reactive Pulsed Magnetron Sputtering of SiO_2-lnfluence of Process Parameters on Layer Properties
机译:
SiO2反应性脉冲磁控溅射对工艺参数的影响
作者:
R. Nyderle
;
V. Kirchhoff
;
R. Vanecek
;
H. Sahm
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
silicon oxide (SiO_2);
reactive sputter deposition;
pulsed power supplies;
70.
Reactive Low Voltage Ion Plating Plasma Assisted (RLVIPPA): A New Perspective for Optical Coatings
机译:
反应性低压离子镀等离子体辅助(RLVIPPA):光学镀膜的新观点
作者:
C. Misiano
;
S. Schlichtherle
;
H.K. Pulker
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
ion plating;
optical coating;
reactive deposition;
plasma source;
71.
Possible Future Trends for Aluminium Metallizing
机译:
铝金属化的未来可能趋势
作者:
C.A. Bishop
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
aluminizing;
metallizing;
patterning;
printing;
72.
Plasma Polymerization of Hybrid Organic-Inorganic Monomers in an Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge
机译:
大气压介质阻挡放电中有机-无机杂化单体的等离子体聚合
作者:
R. Rego
;
S. Paulussen
;
O. Goosens
;
D. Vangeneugden
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
plasma polymerization;
atmospheric pressure;
hybrid coating;
73.
Plasma Diagnostic for Development and Optimization of Plasma Activated Deposition Processes
机译:
用于等离子体活化沉积工艺开发和优化的等离子体诊断
作者:
P. Spatenka
;
K.-D. Nauenburg
;
T. Schmauder
;
A. Kolouch
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
plasma diagnostics;
electron density;
plasma deposition;
ion current;
74.
Quality of Plasma Polymerized Corrosion Resistant Layers of New Materials in Large Scale Coating Machines for Car Reflectors
机译:
大型汽车反光膜镀膜机新材料的抗等离子体聚合腐蚀层质量
作者:
K. Nauenburg
;
P. Fiedler
;
W. Dicken
;
G. Deppisch
;
K. Kruse
;
G. Ickes
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
plasma polymerization;
corrosion resistant coatings;
mirror coatings;
polymer substrates;
75.
Optical Response from Metal/Dielectric Nanocomposite Thin Films Systems Modified by Heavy Ion Irradiation
机译:
重离子辐照改性金属/介电纳米复合薄膜系统的光响应
作者:
J.-M. Lamarre
;
L. Martinu
;
Z. Yu
;
C. Harkati
;
S. Roorda
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
plasma enhanced CVD (PECVD);
ion beam irradiation;
nanocomposite coatings;
surface plasmon resonance;
76.
Optimizing AC Switching Parameters for Rotating Cylindrical Magnetron Sputtering
机译:
旋转圆柱磁控溅射的交流开关参数优化
作者:
A. Blondeel
;
W. De Bosscher
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
reactive deposition;
sputter deposition;
cylindrical sputtering targets;
pulsed deposition;
77.
Oxygen as a Reactive Gas: Opportunities in the Decorative Coating Field
机译:
氧气作为活性气体:装饰涂料领域的机遇
作者:
M. Eerden
;
M. Schreurs
;
P. Schreurs
;
R. Tietema
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
arc vaporization;
reactive deposition;
oxides;
color;
78.
Next Generation Crystal Microbalances for Thin Film Deposition Monitoring and Control
机译:
用于薄膜沉积监控的下一代晶体微量天平
作者:
S. Grimshaw
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
quartz crystal microbalance;
optical monitoring;
thin film deposition;
thickness monitor;
79.
Optical and Compositional Analysis of Annealed SiO_x Thin Films Deposited by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
机译:
电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积沉积SiO_x薄膜的光学和成分分析
作者:
T. Roschuk
;
J. Wojcik
;
P. Mascher
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
electron cyclotron resonance PECVD;
silicon rich silicon oxide (SRSO);
annealing studies;
optical properties;
80.
Optical Emission Study of the lonization Fractions in a High Power Pulsed Magnetron Plasma
机译:
大功率脉冲磁控等离子体中电离分数的光发射研究
作者:
J. Boehlmark
;
A.P. Ehiasarian
;
P.Eh. Hovsepian
;
U. Helmersson
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
ion assisted deposition;
plasma source;
sputter deposition;
power supplies;
81.
Modeling of the Film Thickness Distribution Along Transport Direction in In-line Coaters for Reactive Sputtering
机译:
用于反应溅射的在线镀膜机沿传输方向的膜厚分布建模
作者:
A. Pflug
;
B. Szyszka
;
M. Geisler
;
A. Kastner
;
C. Braatz
;
U. Schreiber
;
J. Bruch
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
reactive sputtering deposition;
vacuum system instrumentation and control;
gas flow simulation;
simulation of the plasma impedance;
82.
Modular Linear Ion Source
机译:
模块化线性离子源
作者:
H.R. Kaufman
;
J.R. Kahn
;
R.E. Nethery
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
ion source;
ion beam sputtering;
ion beam assisted deposition;
ion beam cleaning;
83.
Manufacturable Filter for CWDM's
机译:
用于CWDM的可制造滤波器
作者:
D. Cushing
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
narrow band filler coatings;
WDM filter;
bandpass filter design;
coarse wavelength division multiplexers (CWDM);
84.
Mechanical Properties of Nanostructured PVD Coatings Using Nanoindentation
机译:
使用纳米压痕的纳米结构PVD涂层的机械性能
作者:
J.O. Carneiro
;
V. Teixeira
;
A. Portinha
;
S.N. Dub
;
R. Shmegera
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
nanoindentation;
nanolaminated coating magnetron sputtering;
hardness;
85.
Microwave-Assisted DC Magnetron Sputtering
机译:
微波辅助直流磁控溅射
作者:
S. Moh
;
F. Placido
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
microwave plasma;
optical filters;
magnetron sputtering;
transparent conductors;
86.
Method to Design Magnetrons that Match Preferred Erosion Patterns
机译:
设计与首选侵蚀模式匹配的磁控管的方法
作者:
R. Stelter
;
M. Schilling
;
A. Welk
;
C. Padua
;
C. Li
;
M. Devine
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
magnetron;
sputter deposition;
erosion pattern;
ferromagnetic target;
87.
Ion Assisted vs. Plasma Assisted PVD: Preparation of Optical Multilayers in a Versatile Cluster System Implementing Electron Beam and Sputter Technology
机译:
离子辅助与等离子辅助的PVD:在采用电子束和溅射技术的多功能簇系统中制备光学多层
作者:
U. Beck
;
A. Hertwig
;
G. Reiners
;
M. Weise
;
J. Hartung
;
E. Reinhold
;
J. Struempfe
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
ion assisted PVD;
plasma assisted PVD;
optical multilayers;
cluster deposition system;
88.
Laser-Arc Process and Technology for Deposition of Hard Amorphous Carbon (ta-C)
机译:
硬质非晶碳沉积的激光电弧工艺及技术
作者:
H.-J. Scheibe
;
B. Schultrich
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
pulsed arc deposition;
laser-induced arc deposition (laser-arc~reg;
);
ta-C film deposition;
industrial deposition equipment;
89.
Laser-Arc-Module for Deposition of Hard Amorphous Carbon (ta-C) Coatings with Industrial Batch Coaters
机译:
激光电弧模块,用于工业批量涂布机沉积硬质非晶碳(ta-C)涂层
作者:
H.-J. Scheibe
;
M. Leonhardt
;
C.-F. Meyer
;
B. Schultrich
;
H. Schulz
;
V. Weihnacht
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
pulsed arc deposition;
laser-induced arc deposition (laser-arc~reg;
);
Ta-C film deposition;
industrial deposition equipment;
90.
Interface Engineering of Porous/Dense Multilayers of SiN_(1.3): In situ Real-time Spectroscopic Ellipsometry Study
机译:
SiN_(1.3)多孔/致密多层的界面工程:原位实时光谱椭圆仪研究
作者:
A. Amassian
;
R. Vernhes
;
J.E. Klemberg-Sapieha
;
P. Desjardins
;
L. Martinu
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
silicon nitride;
plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD);
interface;
real-time spectroscopic ellipsometry;
91.
Innovative Production of High Quality Optical Coatings for Applications in Optics and Optoelectronics
机译:
创新生产用于光学和光电的高质量光学镀膜
作者:
M. Scherer
;
J. Pistner
;
W. Lehnert
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputter deposition;
optical coating equipment;
optically variable coatings;
monitoring (in situ);
92.
Smart Switchable Film Technologies for Glass and Plastics
机译:
用于玻璃和塑料的智能可切换薄膜技术
作者:
C.M. Lampert
会议名称:
《》
|
2004年
关键词:
switchable glazing;
smart material;
electrochromic;
suspended particles;
93.
Developments in Materials and Processes: Key to Advances in Thin Film Design
机译:
材料和工艺的发展:薄膜设计进步的关键
作者:
J.A. Dobrowolski
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
optical constants;
thin film materials;
deposition processes;
optical coatings;
94.
Development of a Pilot Manufacturing Process for High Volume Catalyzation of Fuel Cell Electrodes
机译:
大批量催化燃料电池电极的中试生产工艺的开发
作者:
J. Arps
;
B. Lanning
;
F. Campbell
;
W. Machowski
;
J. Riggs
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
fuel cells;
catalysts;
web coating;
platinum;
95.
Denton Vacuum Discovery~reg; Multi-Wafer Loading Sputtering System
机译:
Denton Vacuum Discovery〜®多晶片装载溅射系统
作者:
J. Colbridge
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
equipment design;
sputter deposition;
semiconductor processing;
multi-wafer;
96.
Deposition Rate of TiO_2 Films Deposited by dc Magnetron Sputtering Using Various TiO_(2-x) Targets
机译:
使用各种TiO_(2-x)靶材通过直流磁控溅射沉积TiO_2薄膜的沉积速率
作者:
A. Mitsui
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
sputter deposition;
sputtering targets;
glass;
TiO_2;
97.
Comparison of Black Decorative PVD Coatings on Soft Substrates
机译:
软质基材上的黑色装饰性PVD涂层的比较
作者:
T. Trinh
;
D. Lewis
;
T. Hurkmans
;
J. Hopkins
;
G.J. van der Kolk
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
|
2004年
关键词:
color;
reactive deposition;
arc evaporation;
98.
Computer Aided Design of Optical Transmittance and Electromagnetic Shielding Efficiency on Conductive Anti-Reflection Coating
机译:
导电抗反射涂层的光透射率和电磁屏蔽效率的计算机辅助设计
作者:
S.M. Yang
;
J.C. Yang
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
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2004年
关键词:
optical coating design;
conductive AR coating;
EM shielding coating;
99.
Characterization of RF Polymer Sputtering by Ion Mass Spectrometry
机译:
离子质谱法表征射频聚合物溅射
作者:
M. Misina
;
H. Koshelyev
;
H. Biederman
;
A. Choukourov
;
D. Slavinska
;
E. Fuoco
;
A. Bowers
;
L. Hanley
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
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2004年
关键词:
RF sputtering;
plasma polymer thin films;
mass spectrometry;
100.
Characterization of the Electron Movement in Varying Magnetic Fields and the Resulting Anomalous Erosion
机译:
电子在变化磁场中的运动特征及由此产生的异常腐蚀
作者:
G. Buyle
;
D. Depla
;
K. Eufinger
;
J. Haemers
;
R. De Gryse
;
W. De Bosscher
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20040424-29; Dallas,TX(US)》
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2004年
关键词:
sputter deposition;
large area coating;
plasma simulation;
DC magnetron plasma;
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