用于深紫外线的反射膜、反射件和LED装置

摘要

本实用新型公开了一种用于深紫外线的反射膜、反射件和LED装置，所述反射膜包括多层膜，所述多层膜包括若干层第一氧化膜和若干层第二氧化膜，第一氧化膜和第二氧化膜交替分布，且第一氧化膜为氧化铪膜或氧化铝膜，第二氧化膜为氧化硅膜。本实用新型采用带粘附性及反射性的氧化铪膜或氧化铝配合氧化硅作为介质材料，通过膜系结构设计形成能够取代贵金属金的深紫外线反射膜，从中保证在降低材料成本的条件下生成反射性能优良的深紫外线反射膜。